Pradinės žinios apie vakuuminio garavimo dengimo procesą
May 23, 2019| Pradinės žinios apie vakuuminio garavimo dengimo procesą
Pagrindinės vakuuminio garinimo įrangos struktūros dalys yra šios:
(1) vakuuminė kamera, kuri užtikrina reikiamą vakuumo laipsnį garavimui ir neleidžia medžiagoms oksiduotis garavimo metu; (2) garinimo šaltinis ir garinimo šildytuvas, kurie dažniausiai naudojami garavimo medžiagoms įdėti ir šildyti; (3) substratas, skirtas garavimo medžiagoms gauti ir kieto garavimo plėvelės formavimui ant jos paviršiaus; (4) pagrindo plokštės šildytuvas, naudojamas pagrindo plokštės šildymui; (5) temperatūros matavimo prietaisas yra termoporos temperatūros matavimo prietaisas.
Vakuuminio garavimo danga susideda iš šių procesų. 1. Šildymo ir garavimo procesas, įskaitant fazės perėjimą iš kondensuotos fazės į dujų fazę (kietosios fazės, skystosios fazės arba dujų fazė). Kai junginys išgarinamas iš kiekvienos medžiagos skirtingoje temperatūroje ir esant kitokiam sočiųjų garų slėgiui, jo komponentai reaguoja tarpusavyje, kai kurie iš jų į garinimo vietą patenka kaip dujiniai arba gariniai. Išgarintų atomų ar molekulių transportavimas tarp garavimo šaltinio ir substrato. Susidūrimų tarp šių dalelių ir likusių dujų molekulių vakuuminėje kameroje skaičius skrydžio metu priklauso nuo susidūrimų tarp išgarintų atomų dujų molekulių, išgarintų atomų vidutinio laisvo kelio ir atstumo tarp atstumo tarp jų skaičiaus. išgarintas šaltinis ir substratas. 3. Procesas, kuriuo garai atomai ar molekulės nusodinami ant pagrindo, ty garų kondensacijos, brandinimo, branduolinio augimo ir nuolatinių plonų plėvelių susidarymo. Kadangi substrato temperatūra yra daug mažesnė nei garavimo šaltinio, nuosėdų molekulių fazinis perėjimas tiesiogiai vyksta ant substrato paviršiaus nuo dujų fazės iki kietosios fazės.
Vakuuminio garavimo procese vakuuminė aplinka garavimo dangai turi lemiamą vaidmenį, nes atomai ar molekulės išgaruoja su dideliu oro molekulių skaičiumi, membraninio sluoksnio užteršimas, oksido susidarymas arba netgi garavimo šaltinis yra šildomas oksidacijos procesas. arba dėl susidūrimo bloko oro molekulių, sunku formuoti vienarūšę nepertraukiamą ploną plėvelę. Taigi svarbu turėti stabilų vakuumą, o garavimo procesas apima ir medžiagos sočiųjų garų slėgio teoriją. Taigi jūs taip pat turite žinoti ką nors apie prisotinimo garų slėgį, kad suprasti garavimo procesą.
IKS PVD ， garavimo dangos įranga ， kontaktas ： iks.pvd@foxmail.com
