Grąžtai PVD vakuuminio dengimo mašina

substrato maksimalus skersmuo * kiekis

φ 150 * 12 个

siurbimo laikas

atm iki 6X10 ^-3 <>

darbinė įtampa / dažnis

380 V / 50 Hz

tikroji galia

70 KW

Technologija

HCD + ARC

tikslinis kiekis

12vnt

didžiausias slėgis

5,0 * 10 ^-4 Pa

nuotėkio greitis

10 ^{- 3} Pa / l

standartinė danga

TiN 、 CrN 、 AlTiN 等

pasirenkama danga

TiAlCrN ir kt.

patefono struktūra

žemyn struktūra

kameros konstrukcija

Vertikalios vienos durys

Maitinimo šaltinio tipas

Arkos galia, impulsų pakreipimo galia, E-pistoleto galia

Siurblio sistema

Turbo molekulinis siurblys, Šaknų siurblys, monobloko siurblys

Dengimo ciklas

3-6 valandos / krosnis

Bendras dydis

L4200 * W3200 * H2200MM

Išeiga / krosnis

frezavimo mašinaφ 10 * 70 880vnt

Peilio dalelės φ 18 * 6 6400

kaitlentėsφ 80 * 80 64

modeliai 500KG

rungtynių sąlyga

• Cirkuliacinio vandens slėgis ： 2-3KG / CM 3

• vandens tūris ： 10T / H

suslėgtas oras ： 4-6 KG / CM3

Kontrolės metodas

rankinis + pusiau automatinis +

• visiškai automatinis integruotas

/ jutiklinis ekranas + PLC

Savarankiškai sukurta dengimo programinė įranga

darbinės dujos

Ar 、 N ² 、 O ² 、 C ² H ²

Pastaba

Vakuumo kameros dydį, bendrą dydį, įrangos išvaizdą galima pritaikyti pagal kliento gaminius ar specialius proceso reikalavimus