Vakuuminimo įranga Nevienodi plėvelės storio problemos

Nepriklausomai nuo to, kaip ji gali tik stebėti, ar tiksliai ir kontroliuojama vakuuminio kambario viengubo taško padėtis, tai paprastai yra ruošinio rėmo vidurinė padėtis. Jei dulkių dengimo įrangos plėvelės storis nėra visiškai vienodas, substratas toli nuo centrinės padėties negali gauti vienodo storio. Nors apsauginis dangtelis gali pašalinti veikimo vienodumą ne ilgai, tačiau kai kurie plėvelės storio pokyčiai skiriasi nuo nestabilumo arba išmatuoto membranų garavimo šaltinio, todėl jį beveik neįmanoma pašalinti, tačiau tinkamą vakuuminės kameros struktūrą ir šaltinį galima kad šis poveikis būtų kuo mažesnis.

Per pastaruosius kelerius metus vis daugiau ir daugiau naudotojų reikalauja, kad dangos sistemų gamintojai pateiktų nedidelę ir paprastą optinę dangų sistemą, tuo pat metu būtų našūs, o vartotojo našumas nebūtų sumažintas, bet padidėjo, ypač filmų tankis ir užtikrintas vanduo po spektro pokyčių minimizavimo ir pan.

Dabar vidutinis sistemos specifikacijų dydis buvo sumažintas, o nedidelių matmenų įrangos naudojimas optinėms dangoms gaminti taip pat tapo gryna technine problema. Todėl raktas priklauso nuo šiuolaikinės optinės dangos sistemos pasirinkimo, atsižvelgiant į šiuos veiksnius: rimtai apsvarstyti laukiamą dengimo produktų našumą, dydį ir fizines pagrindo savybes ir užtikrinti, kad visi techniniai veiksniai, reikalingi aukštam nuoseklumui apdoroti.