Garų nusodinimo technologijos pažanga
Dec 22, 2022| Garų nusodinimo technologijos pažangą galima apibendrinti taip:
(1) Įrangos tobulinimas. Pavyzdžiui, didelio elektronų pluošto nepertraukiamo garinimo įranga, įvairių formų magnetrono purškimo įranga, nauja lankinio šaltinio jonų dengimo ir HCD bei kelių lankų kompozitinių jonų dengimo įranga, įvairi IBAD įranga ir plazminio panardinimo jonų implantavimo (PIⅢI) įranga ir kt.
(2) Proceso eiga. Tai daugiausia pasireiškia plėvelių tipų gausėjimu ir plėvelės savybių pagerėjimu. Pavyzdžiui, buvo paruoštos įvairios didelio našumo atsparios dilimui, korozijai, aukštai temperatūrai atsparios korozijai, termobarjerinės plėvelės, deimantinės ir kubinės boro nitrido plėvelės, įvairios keraminės, gradientinės ir daugiasluoksnės kompozitinės plėvelės. .
(3) Metodų sudėtis. Pažangiausia nusodinimo garais technologija yra vieno fizinio nusodinimo garais ir cheminio nusodinimo garais derinys. Jie ne tik naudoja įvairius naujus šildymo šaltinius, bet ir visapusiškai išnaudoja įvairias chemines reakcijas, aukšto dažnio elektromagnetinius (impulsinius, radijo dažnius, mikrobangų krosnelės ir kt.), plazminius efektus, kad suaktyvintų nusėdusias daleles. Pavyzdžiui, reaktyvusis garinimas, reaktyvusis dulkinimas, jonų pluošto purškimas, įvairus plazmos sužadintas cheminis garų nusodinimas ir kt., IBAD ir PⅢ įrangoje yra daugiau sudėtinių metodų. Lazerio spindulį galima ne tik padengti garais, bet ir įvairiais būdais sudėti.
IKS PVD įmonė, dekoratyvinio dengimo mašina, įrankių dengimo mašina, DLC dengimo mašina, optinio dengimo mašina, PVD vakuuminio dengimo linija, yra „iki rakto“ projektas. Susisiekite su mumis dabar, el.iks.pvd@foxmail.com