Pagrindinio siurblio konfigūracija dengimo įrangos vakuuminėje sistemoje

Vakuuminė sistema yra neatskiriama vakuuminės dangos įrangos dalis. Dažniausiai naudojama didelės vakuuminės sistemos struktūra dažniausiai yra pagrindinio siurblio, priekabos, vožtuvų, vamzdžių ir vakuuminių matavimo priemonių derinys. Pagal pasirinktus pagrindinius siurblius, vakuuminė sistema gali būti naftos vakuuminė sistema arba bevandenė vakuuminė sistema .

1. Naftos vakuuminė sistema

Pagrindinis alyvos didelio vakuuminio siurblio siurblys paprastai yra naftos difuzijos siurblys. Patalpų siurblys yra mechaninis siurblys arba mechaninis siurblys su šaknimis.

Gerai žinoma, kad alyvos difuzijos siurblio veikimo slėgio diapazonas yra nuo 10 ^-1 iki 10 ^-6 Pa. Aukštas siurbimo greitis gali būti iki šimto tūkstančių litrų per sekundę nuo kelių litrų per sekundę. Nuo 10 ^-2 iki 10 ^-4 Pa diapazone alyvos difuzijos siurblys turi stabilų siurblio greitį be mechaninės pavaros, trinties, vibracijos ar triukšmo. Tai taip pat charakterizuoja paprastą struktūrą, patikimą veikimą, ilgaamžiškumą, paprastą techninę priežiūrą ir nedideles investicijų sąnaudas. Pagrindinis trūkumas yra tas, kad alyvos garus lengva grįžti į vakuuminę kamerą ir tada tapti taršos šaltiniais. Naftos grąžos norma gali būti sumažinta naudojant alyvos laikymo dangtelį, perforatorių, šaldytuvą ir kitas priemones, tačiau jo negalima išnaikinti. Vis dar yra alyvos garų refliukso dalis, kuri sumažina siurblio siurbimo greitį. Be to, alyvos difuzijos siurblys, ypač didelio tūrio siurblys, turi didelį energijos suvartojimą ir didelę eksploatacinę kainą, taip pat lėto paleidimo ir ilgo sustojimo laiko trūkumus, ypač didelių dydžių siurblį.

2. Bevandenė vakuuminė sistema

Šiandien yra bevandenė vakuuminė sistema kuriame pagrindinis siurblys yra molekulinis siurblys, o kriogeninis siurblys yra plačiai naudojamas vakuuminio dengimo įrangoje.

2.1 Vakuuminės sistemos, kurios pagrindinis siurblys yra molekulinis siurblys, charakteristikos

Molekulinis siurblys yra vakuuminis siurblys, kurio siurbimas atliekamas didelės spartos jėgos kieto kūno, užteršto dujų molekulėmis, paviršiuje. Jis gali nuolat siurbti didelį kiekį dujų, kad gautų švarų ir be aliejų didelį vakuumą arba ultrapučiamą vakuumą. Be to, ji turi pranašumų greitos pradžios ir trumpo sustojimo. Tačiau sunkiųjų dujų siurbimo greitis yra greitesnis nei šviesos dujos, o garo siurblio greitis yra labai lėtas. Turbo molekulinis siurblys turi didelį efektyvumą molekulinio srauto srityje, tačiau kai dujos daugiausia tekėja per siurblį, siurblio greitis sumažės. Slėgio diapazone virš 1Pa siurblio greitis yra gana žemas, kuris yra nepalankus naudojimui. Taigi spiralinio griovelio traukos molekulinis siurblys yra įrengtas turbo molekulinio siurblio aukšto slėgio pusėje, kad dviejų siurblių siurbimo vienetas sudarytų vieningą visumą, tai yra plataus lauko tipo molekulinio siurblio jungtis. Šio junginio molekulinio siurblio siurbimo greitis išlieka pastovus, kai slėgis yra mažesnis nei 10 Pa. Aukšto slėgio diapazonas su dideliu siurblio greičiu sudaro trikampį turbo molekulinį siurblį.

2.2. Vakuuminės sistemos su kriogeniniu siurbliu kaip pagrindinio siurblio charakteristikos

Kriogeninis siurblys yra dujinės gaudyklės siurblys, kuris naudoja žematemperatūrinį paviršių, kuris kondensuoja, adsorbuoja ir gaudo spąstus, tada gauna ir palaiko vakuumą. Įprasto veikimo metu paruošiamojo pulto nereikia, ir Kriogeninis siurblys turi didelį pradinį slėgį ir didelį darbinį slėgio diapazoną (1 ~ 10 ^-8 ) Pa. Jis gali siurbti visų rūšių dujas, tačiau galima pasiekti nuolatinį siurblį. Palyginti su kitais to paties kalibro siurbliais, kriogeninis siurblys turi didelį siurblio greitį, ypač vandens garams, kuris yra lygus keturiems kartų didesnio molekulinio siurblio su tuo pačiu kalibru. Taigi, dalinis vandens garų slėgis pumpuojamoje talpykloje yra nedidelis, kad gautų švarų angliavandenilių neturintį didelį vakuumą ir itin aukštą vakuumą. Be judančių dalių, vibracijos ar triukšmo, kriogeninis siurblys gali būti montuojamas bet kur. Naudojant nedidelį pėdsaką ir lengvą eksploatavimą, jo eksploatacinės išlaidos yra mažesnės nei alyvos difuzijos siurblys.

Todėl pagrindinis vakuuminės dangos įrangos siurblys, visų pirma, priklauso nuo švaros, vakuumo ir siurblio laiko poreikio.

(1) Naudojant siurblį kaip sausąjį siurblį , kaip pagrindinis siurblys yra kriogeninis siurblys, be alyvos be dulkių sistemos be alyvos garų ar angliavandenių taršos. Dėl didelės siurbimo normos, kriogeniniai siurbliai yra plačiai naudojami vakuuminio dengimo įrangoje, ypač tinka įrangai, kurios tūris yra 0,5-1,6 m ³ .

(2) Bevandeninė vakuuminė sistema taip pat gali būti realizuojama naudojant molekulinį siurblį kaip pagrindinį siurblį. Palyginus su kriogeniniu siurbliu, molekulinis siurblys gali nuolat siurbti be regeneravimo, tačiau tai yra nepajėgumas siurbti vandens garus. Palyginti su naftos difuzijos siurbliu, molekulinio siurblio sistema yra švari, trumpas paleidimo ir sustojimo laikas, o tai padeda sutaupyti papildomo laiko. Tačiau, kadangi molekulinis siurblys yra greitaeigio važiavimo įranga, jo specifikacijų rengimas yra ribotas. Taigi molekulinis siurblys tinka vidutinio ir mažo dengimo įrangai, kaip pagrindiniam mokslinių tyrimų institutų ir kolegialų laboratorijų siurbliui. Didelio tūrio vakuuminio dengimo įrangai reikia daugybę molekulinių siurblių sistemų, kad būtų galima lygiagrečiai pumpuoti, o tai lemia sudėtingą struktūrą.

(3) Naftos difuzijos siurblys, naudojantis žemo slėgio ir didelės spartos alyvos garų srautą kaip darbinis skystis, siurbiamos dujos išleidžiamos į garų purkštukus ir paskui perkeliamos į siurblio išleidimo angą, kad jos nebūtų ekstrahuojamos. Naftos difuzijos siurblyje yra daug įvairių siurblių. Nors tai yra neveiksminga, tačiau kaina yra gana maža, taigi naftos difuzijos siurblys vis dar plačiai naudojamas vakuuminio dengimo įrangoje, kuri reikalauja mažesnio siurblio greičio.