„Holl Ion Source“ principas ir taikymas

Holl jonų šaltinio principas ir taikymas

Jonų šaltinio darbo principas

Jonų šaltinio tipas

Pagal jonų energiją yra suskirstyta į:

Didelis energijos kiekis, didesnis nei 200, pvz., APS, RF, Kaufman jonų šaltinis;

Salės jonų šaltinis žemiau mažos energijos

Padalintas pagal tipą:

Kaufman tipo ir salės tipas

Kaip veikia jonų šaltiniai

Tikrai tankioje aplinkoje į vakuuminę kamerą pripildyta dujos pašalinamos naudojant elektrinius ir elektrinius laukus, o jonai išsiskiria elektrinių ir magnetinių laukų veikimu.

Salės jonų šaltinio struktūros principas
Komponentai:
Katodas skleidžia elektronus
Anodas - gamina jonus
Dujų kelias - suteikia jonizuotas dujas
Maitinimo šaltinis

Hall jonų šaltinio struktūra

Kaufmano jonų šaltinio struktūra

Jonų šaltinio jonų energija:

Split kaufman jonų šaltinis: yra įtampa tarp anodo ir tinklelio
Salės jonų šaltinis: 65-70% anodo įtampos

IKS PVD ， IET dengimo įranga, susisiekite su: iks.pvd@foxmail.com