PECVD dujų ir srauto valdymo sistemos

PECVD sistemos dujos beveik visada tiekiamos dujų balionėliais, kurie yra patalpinti į dujų spintą su daugybe saugos įtaisų ir tiekiami į PECVD proceso kamerą per valdymo pultą ant dujų spintos ir vamzdžių.

Nusodinimo metu reakcijos dujų kiekis turės įtakos nusodinimo greičiui ir jo vienodumui, todėl būtina griežtai kontroliuoti dujų srautą, o norint pasiekti tikslų valdymą, paprastai naudojamas masės srauto matuoklis.

IKS PVD įmonė, dekoratyvinio dengimo mašina, įrankių dengimo mašina, DLC dengimo mašina, optinio dengimo mašina, PVD vakuuminio dengimo linija, yra „iki rakto“ projektas. Susisiekite su mumis dabar, el. paštas: iks.pvd@foxmail.com