Lydinio plėvelių nusodinimo metodas

Lydinių plėvelių nusodinimo metodas

Siekiant sumažinti purškimo sistemoje naudojamų taikinių skaičių, lydiniai ploni plėvelės, atitinkančios kompozicijos ir eksploatacinių savybių reikalavimus, gali būti ruošiami purškiant nusodinimą vienu tikslu, kiek įmanoma, pvz. - tikslinis purškimas.

Apskritai, stabilioje išleidimo būsenoje, atsižvelgiant į tikslą, visos sudedamosios atomų rūšys patenka į purškimo efektą, purškiamoji danga yra pranašesnė už vakuuminį garavimą ir jonų padengimą: plėvelės sudėtis ir tiksliniai komponentai yra ne tokie skirtingi, ir dangos komponentai yra stabilūs.Tačiau kai kuriais atvejais dėl įvairių komponentų purškimo reiškinio pasirinkimo, plėvelės anti-purškimo greitis ir sukibimas yra skirtingi, o tai sukels plėvelės ir taikinio komponentus dideli skirtumai.Naudojant šį lydinio tikslą, norint padaryti plėvelę su tam tikrais komponentais, be to, kad būtų sukurta konkreti proporcija pagal eksperimentą ir kiek įmanoma sumažinta tikslinė temperatūra, substrato temperatūra taip pat gali būti sumažinta siekiant sumažinti sukibimo greičio skirtumą, galima pasirinkti tinkamas proceso sąlygas, kad būtų sumažintas antisputavimo poveikis plėvelei la yer kiek įmanoma.

Kai kuriais atvejais nėra lengva paruošti plataus ploto vienodų lydinių taikinius ir sudėtinius taikinius. Tokiu atveju gali būti priimami sudėtiniai mozaikiniai tikslai, sudaryti iš atskirų elementų. Tikslinio paviršiaus sudėtis pavaizduota 1 paveiksle. Ventiliatoriaus formos mozaikos struktūra, parodyta Fig. D turi geriausią efektą, todėl lengva kontroliuoti plėvelės sudėtį ir turi gerą pakartojamumą. Iš esmės šiuo metodu galima gaminti ne tik dvejetainius lydinius, bet ir trijų ir ketvirtinių lydinių.

1 paveikslas sudėtiniai tikslai su skirtingomis struktūromis

(a) blokuoti Mosaic taikinį; b) apvalios mozaikos taikinys; c) mažas kvadratinis mozaika; d) ventiliatoriaus formos mozaika

Kad atitinkamas komponentų pasiskirstymas purškimo plėvelėje būtų naudojamas, galima naudoti Mozaiką, kaip parodyta 2 paveiksle. Paveiksle, išgautas Ti matricos taikinio plotas buvo išgręžtas į kompozicinį Al medžiagos tikslą, gaunant Ti Al N lydinio plėvelę arba sudėtinę plėvelę. Iš paveikslo matyti, kad plėvelės sudėtis yra skirtinga skirtingose substrato padėtyse. Al medžiagos medžiagos padengimo vieta ir kiekis atitinka nustatytą lydinio sudėtį, todėl yra labai patogu gaminti įvairių sudedamųjų dalių lydinius arba mišinius pagal šį metodą.

2 pav. „Ti-Al Mosaic“ kompozicinis taikinys

Daugiafunkcinio purškimo struktūra parodyta 3 paveiksle. Sudėtinės plėvelės gali būti paruoštos pasukant substratą virš dviejų ar daugiau taikinių ir kontroliuojant kiekvieno plėvelės nusėdimo storį kaip vieną ar daugiau atominių sluoksnių. Pavyzdžiui, „InSb“ ir „GaSb“ tikslai buvo naudojami gaminant in1-xgax Sb vieno kristalo filmus. Nors šis įrenginys yra sudėtingesnis, bet kurio komponento membraną galima gauti kontroliuojant pagrindo sukimosi greitį ir keičiant įtampą, taikomą kiekvienam tikslui. Kontroliuojant šiuos parametrus, plėvelės sudėtis gali būti pakeista plėvelės storio kryptimi, ir galima gauti superlattice struktūrą.

Fig. 3 daugiafunkcinės purškimo struktūros schema

Kai lydinio plėvelės sudėtis labai skiriasi, paprastai naudojamas papildomas katodo metodas. Pagrindinis katodo taikinys yra pagamintas iš pagrindinio lydinio komponento, o pagalbinis katodo taikinys yra pagamintas iš lydinio pridėto komponento. Purškimas buvo atliktas kiekvienu tikslu vienu metu, kad susidarytų lydinio plėvelė. Reguliuojant pagalbinio katodo taikinio srovę, pridedamų komponentų kiekis lydinio plėvelėje gali būti pakeistas .

IKS PVD, purškimo dengimo dangos sistema, susisiekite su mumis dabar, iks.pvd @ foxmail.com