Didelės galios impulsinio magnetinio purškimo technologija

Aug 30, 2024|

Didelės galios impulsinio magnetroninio purškimo technologija

Didelės galios impulsinio magnetroninio dulkinimo technologija taiko impulsinį plazmos išlydį magnetroninio dulkinimo procesui. Tai savotiška impulsinio purškimo technologija, kuri naudoja didesnę didžiausią impulso galią ir mažesnį impulsų darbo ciklą, kad pasiektų aukštą taikinio išpuršktų atomų jonizaciją. Didelės galios impulsinio magnetroninio purškimo technologija apjungia žemos temperatūros nusodinimo, lygaus paviršiaus ir dalelių defektų nebuvimo privalumus, taip pat didelio jonizacijos greičio, stiprios plėvelės surišimo jėgos ir tankios lankinio jonų aukso dangos privalumus. Didelio jonizacijos greičio nusodintų dalelių pluošte nėra didelių dalelių priemaišų, tokių kaip „metalo lašeliai“. Jis turi didelių techninių pranašumų valdydamas dangos mikrostruktūrą, išgaunant puikią plėvelės pagrindo sukibimo jėgą, sumažinant vidinį dangos įtempį ir pagerinant dangos tankį bei vienodumą. Kietųjų dangų paruošimas didelės galios impulsiniu magnetroniniu purškimu tapo vienu iš dabartinių tyrimų taškų, be to, ši technologija padarė džiuginančią pažangą nusodinant (Cr,Ti,Al)N dangas, o tai yra fizinio nusodinimo garais technologija. su plačiomis perspektyvomis.

IKS PVD įmonė, dekoratyvinio dengimo mašina, įrankių dengimo mašina, DLC dengimo mašina, optinio dengimo mašina, PVD vakuuminio dengimo linija, yra „iki rakto“ projektas. Susisiekite su mumis dabar, el. paštas: iks.pvd@foxmail.com

Siųsti užklausą