Reikalavimai aplinkai PVD dengimo įrangai
Jan 20, 2018| Kadangi vakuuminio dengimo mašina veikia vakuumo sąlygomis, įranga turi atitikti aplinkosaugos reikalavimus vakuume.
Visi nurodyti reikalavimai, susiję su vakuuminio dengimo mašina (įskaitant bendrąsias technines specifikacijas, vakuuminės dangos įrangos, vakuuminės jonų dengimo įrangos , vakuuminio dulkinimo dengimo įrangos ir vakuuminio garinimo dengimo įrangos) reikalavimai yra aiškūs. Vakuuminio dengimo įrenginių, atitinkančių aplinkosaugos reikalavimus, gali susidaryti geras PVD dangas.
Aplinkos reikalavimai vakuumui paprastai apima vakuuminės įrangos poreikius laboratorijos (ar dirbtuvės), kurioje yra vakuuminė įranga, aplinkos, pvz., Temperatūros ir dalelių ore, aplinkoje. Taip pat reikalaujama, kad komponentai ar paviršius būtų veikiami vakuume arba vakuume. Šie du aspektai yra glaudžiai susiję. Aplinkos aplinkos kokybė tiesiogiai veikia įprastą vakuuminės įrangos naudojimą, o vakuuminė kamera ar kameros komponentai yra švarūs arba neturi tiesioginės įtakos įrangos veikimui. Jei ore yra daug vandens garų ir dulkių, tuo atveju, kai vakuuminė kamera nėra švari, netinkama išpūsti orą, kuris gali sugadinti metalą, reaguoti su vakuuminiu aliejumi arba dulkių daleles. Vandens garai yra tam tikros rūšies kondensuojančios dujos, kai išgaunamas didelis kondensacinių dujų kiekis, todėl siurblio alyvos užteršimas bus rimtesnis. Dėl to galutinis siurblio vakuumas sumažės, o tada sumažės siurblio siurblio našumas.
Dulkes pramoninėje aplinkoje išskiria milteliai, aerozoliai ir dulkės. Milteliai - miltelių arba kietųjų dalelių rinkinys. Aerozolis yra medžiaga, kuri plinta ore kietųjų dalelių arba skystų molekulių pavidalu. Nesvarbu, ar medžiaga yra kieta ar skysta, bet kokias daleles galima pavadinti "dulkių dalelėmis". Oro švarumo standartą lemia dulkių dalelių dydis, o tada nustatomas švarios patalpos lygis.
Įprastos vakuuminės dangos įrangos sąlygos, įskaitant:
1. Aplinkos temperatūra: 10 ~ 30 ℃
2. Santykinė drėgmė ≤ 70%
3. Aušalo vandens įleidimo temperatūra neviršija 25 ℃
4. Aušinimo vanduo yra miesto vandentiekis ar panašus vanduo.
5. Maitinimo įtampa yra 380V, trifazis 50Hz arba 220V, vienfazis 50Hz (nustatoma pagal darbo elektrinių prietaisų reikalavimą), įtampos svyravimų diapazonas yra 342V ~ 399V arba 198V ~ 231V, dažnio svyravimo diapazonas yra 49 ~ 51Hz .
6. Reikalaujamas suspaustas oras, skystas azotas, karšto ir šalto vandens slėgis, temperatūra ir įrangos sunaudojimas turėtų būti nurodyti gaminio vadove.
7. Aplinkos aplinka turėtų būti švari ir tvarkinga; ore neturi būti dulkių ar dujų, galinčių sukelti elektrinių prietaisų ir kitų metalinių dalių paviršiaus koroziją, arba sukelti metalinių detalių laidumą.
Be to, laboratorija ar dirbtuvė, kurioje yra vakuuminė įranga, turėtų būti švarios terrazzo ar medienos grindų. Siekiant užkirsti kelią dujų išleidimui iš mechaninio siurblio nuo teršimo laboratorijos aplinkoje, išmetimo vamzdis (metalinis ir guminis vamzdis) turi būti sumontuotas siurblio išleidimo angoje, kad dujų išeiti iš patalpos.
