Analizė ir bendrosios optinės dangos problemos

Optinių dangų bendrų problemų analizė ir tobulinimas

Dažniausiai dengimo produktų problemas iš dalies sukelia pats dengimo procesas, o kai kurias iš jų palieka ankstesnė inžinerija. Galutinė dangos kokybė atspindi visą optinio komponento apdorojimą (ypač poliravimą ir valymą). Tikrai rasti priežastį, o atsakomųjų priemonių tobulinimas gali pasiekti rezultatų.

Pirma, filmo stiprumas

Plėvelės stiprumas yra svarbus lęšių dangos ir bendrojo dengimo proceso elementas.

Plėvelės stiprumas (silpna plėvelė) daugiausia išreiškiamas:

1 Nuvalykite arba suplėšykite specialią juostelę, kad galėtumėte nuplėšti;

2 Nuvalykite arba suplėšykite specialia juosta, kad susidarytų taškas;

3 virti 15 minučių, tada ištrauktas specialia juosta, kad susidarytų taškas ar dribsniai;

4 Naudojant specialią guminę galvutę ir 40 kartų trinau 1Kg jėga, yra kelias gaminti;

5 Plėvelė yra nuvaloma arba nuvaloma su įtrūkimais vėžlių ir tinklelio linijose.

Pagerinimo idėjos: pagrindinė priežastis yra substrato ir plėvelės derinys, po kurio plėvelės paviršiaus kietumas yra lygus ir plėvelės įtempis.

Filmo stiprumo priežastys ir priešingos priemonės:

1 Substrato ir plėvelės sluoksnio derinys.

Apskritai, antinstrukcijos plėvelėje tai yra pagrindinė silpnos plėvelės priežastis. Kadangi pagrindo paviršius neišvengiamai turi tam tikrų kenksmingų priemaišų, prijungtų prie paviršiaus optinio šalto apdorojimo ir valymo metu, pagrindo paviršius turi tam tikrą žalos sluoksnį dėl optinio šalto apdorojimo poveikio ir priemaišų, esančių žalos sluoksnyje (pvz. vandens garai), alyvos garai, valymo skystis, valymo skystis, poliravimo milteliai ir tt, kuriuose yra pagrindinis vandens garas), sunku jį pašalinti bendrais būdais, ypač tiems substratams, kurių hidrofilumas yra geras ir stipri adsorbcija. Kai plėvelės molekulės kaupiasi ant šių priemaišų, tai paveikia plėvelės sluoksnio sukibimą, kuris turi įtakos plėvelės stiprumui.

Be to, jei substratas yra prastai hidrofilinis ir silpnas adsorbcijos, plėvelės sluoksnio adsorbcija taip pat yra prasta, o tai taip pat turi įtakos plėvelės stiprumui.

Cheminis nitratų medžiagos stabilumas yra prastas. Pagrindo paruošimo procesui metu paviršius buvo korozuotas, suformuotas korozijos sluoksnis arba hidrolizės sluoksnis (galbūt vietinis, labai plonas). Kai plėvelė padengiama ant korozijos sluoksnio arba hidrolizės sluoksnio, adsorbcija yra prasta ir plėvelė yra tvirta.

Pagrindo paviršius yra purvinas, alyvos dėmės, pilkos dėmės, seilių taškai ir pan., O vietinis plėvelės sluoksnis yra tvirtas.

Tobulinti strategiją:

(1) Stiprinti riebalų šalinimo būdą. Jei tai yra ultragarso valymas, jis turėtų sutelkti dėmesį į naftos šalinimo funkciją ir alyvos tirpalo efektyvumą; jei jis yra trinamas rankomis, prieš valydami apsvarstykite jį valyti kalcio karbonato milteliais.

(2) Stiprinti iš anksto paruoštą kepimą, leidžia sąlygos, substrato temperatūra gali siekti 300 ° C arba aukštesnė, temperatūra yra daugiau nei 20 minučių, o vandens garai ir alyvos garai ant pagrindo paviršiaus turi būti susikaupę kaip kiek įmanoma. * Pastaba: Temperatūra yra didesnė, substrato adsorbcijos talpa padidėja, o dulkes lengva adsorbuoti. Todėl reikia pagerinti vakuuminės kameros švarumą. Priešingu atveju, paviršius prieš dengimą turės dulkių sukibimą, kuris, be kitų, turi įtakos plėvelės stiprumui. (Vandens garų cheminė desorbcijos temperatūra ant pagrindo vakuume viršija 260 ° C). Tačiau ne visoms dalims reikia aukšto temperatūros kepimo, o kai kurie nitratai turi aukštą temperatūrą, tačiau plėvelės stiprumas nėra didelis ir bus spalvų. Tai turi didelį ryšį su streso ir medžiagų terminiu suderinimu.

(3) Esant sąlygoms, įrenginyje yra kondensacinė mašina (PLOYCOLD). Be siurblio siurbimo greičio didinimo, jis taip pat gali padėti pašalinti vandens garus, naftą ir dujas.

(4) Norint padidinti garų nusodinimo vakuumo laipsnį, didesnio kaip 1 m dangos mašinoje garų nusodinimo paleidimo vakuumas turi būti didesnis nei 3 * 10-3Pa, tuo didesnė dengimo mašina, tuo didesnis garų nusodinimo vakuumas.

(5) Kai sąlyga yra įvykdyta, įrenginys turi jonų šaltinį, kuris prieš dengimą bombarduojamas, valo pagrindo paviršių ir padeda dengimo procesui, kuris padeda plėvelės sluoksnio kompaktiškumui.

(6) Plėvelės medžiagos sausinimas ir naudojama plėvelė dedama į džiovintiną vakuuminę kamerą.

(7) Laikykite darbo aplinką sausoje vietoje (įskaitant objektyvo valymą, viršutinę skėčio darbo zoną) ir nedarykite per daug vandens garų valant darbo aplinką.

(8) Daugiasluoksnėms plėvelėms, plėtojant plėvelės sistemą, būtina atsižvelgti į plėvelės ir pagrindo suderinamumą ir kiek įmanoma labiau atsižvelgti į Al2O3 plėvelės medžiagą, kuri turi gerą adsorbcijos jėgą daugumai substratų. . Metalinėms plėvelėms taip pat galima apsvarstyti padengtą Cr arba Cr lydinius. Cr arba Cr lydinys taip pat turi gerą adsorbcijos jėgą ant pagrindo.

(9) Poliravimo skystis (poliravimo skystis), kad būtų pašalintas korozijos sluoksnis (hidrolizės sluoksnis) ant lęšio paviršiaus

(10) Kartais naudinga sumažinti garavimo greitį, kad pagerėtų plėvelės stiprumas, ir jis turi teigiamą reikšmę plėvelės paviršiaus lygumo pagerinimui.

3 išorinis plėvelės paviršiaus kietumas:

Išorinio atspindžio plėvelės išorinis sluoksnis paprastai yra MgF2, o plėvelės skerspjūvis yra laisvi stulpelių struktūra, o paviršiaus kietumas nėra didelis, o takelį lengva nuvalyti.

Tobulinti strategiją:

(1) Kai leidžia membranos sistema, išorinis sluoksnis padengiamas maždaug 10 nm SiO2 sluoksniu. Silicio paviršiaus lygumas yra geresnis nei magnio fluorido paviršius (bet silicio paviršiaus atsparumas dilimui ir kietumas nėra toks pat geras kaip magnio fluoridas). Po kelių minučių padengimo, tvirtumo poveikis bus geresnis. (bet paviršius taps storesnis)

(2) Kai lęšis išeina iš vakuuminės kameros, jis patalpinamas santykinai sausoje ir švarioje vietoje, kad greitai sugertų drėgmę ir sumažintų paviršiaus kietumą.

4 kita

Plėvelės stiprumo priežastis yra tai, kad vakuumo laipsnis yra per mažas (gali atsirasti rankiniu būdu valdomoje mašinoje), vakuuminė kamera yra nešvari ir substratas nešildomas.

Kai papildoma dujos įkraunamos, plėvelės medžiaga taip pat nuvaloma, kad sumažėtų vakuumo laipsnis, sumažėtų molekulinis laisvas kelias ir plėvelės sluoksnis nėra stiprus. Todėl pagalbinės dujos užpildymas turėtų būti susijęs su plėvelės išleidimu. Prieš padengimą plėvelė yra visiškai ištirpusi ir visiškai išleidžiama, o vakuumo laipsnis pernelyg sumažinamas dėl plėvelės medžiagos išleidimo garų nusodinimo metu, taip paveikiant plėvelės stiprumą.

5 pašalinimas

Nors išleidimo plėvelė taip pat yra silpna plėvelė, ji turi tam tikrų skirtumų nuo pirmiau minėtos plėvelės. Pagrindiniai bruožai yra taškinis išleidimas, krašto atleidimas ir dalinis išleidimas.

Pagrindinė priežastis yra nešvarumų ar teršalų buvimas membranoje.

Pagerinimo metodas: Pagerinti pagrindo švarumą.

Membraniniai taškai taip pat yra dažna dengtų produktų problema. Japonijoje ir Taivane filmų taškai vadinami „taškinėmis skylėmis“.

Kaip rodo pavadinimas, kino taškas yra garų nusodinimas. Didelis dalelių plėvelės taškas yra garai, nusodinami ant pagrindo paviršiaus kartu su plėvelės garų molekulėmis. Pagrindo paviršius yra suformuotas su taškinėmis iškyšomis, kartais atskirais taškais. Sunkiais atvejais jis suformuojamas į gabalus. Smulkios dėmės, didelės dalelės gali net sugadinti pagrindo paviršių.

Įvairių plėvelės medžiagų garavimo savybės yra skirtingos, ypač lydymosi temperatūros ir garavimo temperatūros yra labai skirtingos.

medžiaga, kurios lydymosi temperatūra yra didesnė už garavimo temperatūrą, kuri tiesiogiai išgarinama kietu pavidalu ir yra sublimacinė medžiaga;

Medžiaga, kurios lydymosi temperatūra yra žemesnė už garavimo temperatūrą, kuri kietoje būsenoje paverčiama skysta būsena ir po to paverčiama dujine būsena, kad išgaruotų, o tai yra ne sublimacinė medžiaga;

Medžiaga, kurios lydymosi temperatūra yra lygi garavimo temperatūrai, išgaruoja iš kietos būsenos į dujinę būseną ir ištirpsta lydant. Tai pusiau sublimacinė medžiaga.

Tarp jų, ne sublimacinė medžiaga yra lengva gaminti plėvelės medžiagos tašką, nes skystos plėvelės medžiaga toliau šildo ir vira, o burbulai plėvelės medžiagoje virimo medžiagos perteklius, ir galimybė purslų plėvelės medžiagai. padidėja. Kartais yra daug purslų, kai medžiaga ištirpsta.

Plėvelė yra drėgna, o vandens garai išsilieja iš anksto lydant ar garuodami, o tai taip pat sukelia purslų.

IKS PVD, optinės dangos mašina, OPT-2700, kreipkitės į iks.pvd@foxmail.com ir paprašykite mašinos parametrų.