Dulkių vyniojimo ir dengimo technologija
May 18, 2019| Dulkių vyniojimo ir dengimo technologija
Šiame darbe apžvelgiama vakuuminės apvijos dengimo technologijos plėtra pagal sistemos struktūros, parametrų valdymo ir dengimo metodų aspektus. Pagal struktūrą, ją galima suskirstyti į vieną kamerą, dvigubą kamerą ir daugiakamerinę vakuuminę apvyniojimo sistemą, o pastarieji du gali išspręsti atjungimo ir deflavimo problemą ir atitinkamai reguliuoti vyniojimo ir dengimo kameros vakuuminį laipsnį. Kūginių įtempių valdymo kūginiai, netiesioginiai ir tiesioginiai valdymo modeliai gali išspręsti plėvelės sulenkimo ir netolygaus radialinės jėgos pasiskirstymo problemas. Netiesioginės įtampos valdymui nereikia jokių jutiklių, kuriuos galima pakeisti vektoriniu konverteriu su įmontuotu įtempimo valdymo moduliu. Tiesioginė įtempimo kontrolė tiksliai matuoja įtempimo vertę per įtempimo jutiklį, tačiau reikalauja įvairių parametrų, pvz., Inercijos momento ir kampinio greičio. plėvelės, nanomedžiagos, pvz., grafenas ir puslaidininkiniai įtaisai, pvz., lanksčios saulės baterijos. Atsižvelgiant į vakuuminio apvyniojimo technologijos tyrimų būklę ir problemas, kylančias pereinant prie industrializacijos, pagaliau pateikiamos trumpos analizės ir perspektyvos.
Vakuuminis apvalkalas (ritininis) - tai technologija, užtikrinanti nuolatinį dengimą ant lankstaus pagrindo skirtingais metodais vakuume. Ji apima vakuuminį įsigijimą, elektromechaninį valdymą, didelio tikslumo perdavimą ir paviršiaus analizę. Svarbiausia yra pagerinti apvijų greitį, kontroliuoti dangos stabilumą ir įdiegti internetinę stebėseną, užtikrinančią dangos kokybės užtikrinimą. „Roll-to-roll“ technologija turi mažos kainos, paprasto naudojimo, suderinamumo su lanksčiu pagrindu privalumus, aukštą našumą ir nuolatinę daugiasluoksnę dangą. Pirmoji vakuuminio garavimo ritinėlio ir padengimo mašina buvo pagaminta 1935 m., O dabar dengimo plotis gali būti nuo 500 iki 2500 mm. Pastaraisiais metais „roll-to-roll“ technologijos taikymas palaipsniui išplėtė nuo pakuotės ir dekoratyvinės plėvelės iki lazerinio klastojimo plėvelės, laidžios plėvelės ir kitos funkcinės plėvelės, kuri yra viena iš pagrindinių technologijų ateities lanksčioje elektronikos pramonėje.
1. Vakuuminių apvijų ir dangų įrangos klasifikavimas
Vakuuminę ritę į ritinių įrangą sudaro vakuuminiai siurbimo, apvijų, dangų ir elektros valdymo sistemos. Pagal vakuuminę kamerą be tarpiklio, jį galima suskirstyti į vieną kamerą, dvigubą kamerą ir daugiakamerinę struktūrą. Vieno kameros ritinėliai ir ritinėliai toje pačioje patalpoje, paprasta konstrukcija, bet neuždengiantis oras teršia vakuuminę aplinką. Dvigubos kameros struktūra padalija sistemą į apvyniojimo ir dengimo kamerą su deflektorine plokštele, o tarpas tarp ritininio ir deflektoriaus plokštės yra apie 1,5 mm, todėl išvengiama panašios atatrankos deflacijos problemos. Daugiakamerė dažnai naudojama kompozitinėms plėvelėms gaminti. Dvigubos kameros pagrindu gretimos dangos sritys yra atskiriamos tarpinėmis, kad būtų išvengta trukdžių. Pavyzdžiui, Krebs ir kt. pritvirtino pelekų tuną „Flexibles AB“ tarp dviejų magnetronų purškimo taikinių ir dengtą 50 m vario sluoksnį abiejose plokštės pusėse.
Kuo mažesnis tarpas tarp tarpiklio ir vakuuminės kameros sienos, tuo geriau. Pagal dengimo volą veikimas yra padalintas į vieną pagrindinį ritinį ir daugiafunkcinį ritinio apvyniojimo įrenginį. Pagal variklio skaičių, jį galima suskirstyti į dvi variklio, trijų variklių ir keturių variklių pavaros sistemą.
2. santrauka ir perspektyvos
3. Dėl plataus ploto, mažų sąnaudų, tęstinumo ir kitų savybių vakuuminio apvyniojimo danga turi didelį pranašumą, palyginti su nepertraukiamu dengimu, ir yra plačiai susijusi su tyrėjais ir įmonėmis namuose ir užsienyje. Šiuo metu vyniojimo ir dengimo technologija padarė greitą pažangą ir išsprendė tokias problemas kaip tuščiavidurės linijos, baltos juostelės ir raukšlės. Jis naudojamas naujoms funkcinėms medžiagoms ir įrenginiams, tokiems kaip grafenas, organinės saulės elementai ir skaidrios laidžios plėvelės, paruošimui. Todėl filmų kūrimo procesui ir plėvelės formavimo kokybei keliami aukštesni reikalavimai. Pagrindinis siurblio siurblys yra sukurtas iš didelio siurbimo greičio difuzoriaus siurblio į be naftos neturinčio itin aukšto vakuumo molekulinį siurblį ir kriogeninį siurblį, o dvigubo aušinimo ritinio padengimo mašina su dideliu apgaubtu kampu yra sukurta siekiant sumažinti plėvelės tempimo deformacija. Įtempimo valdyme plačiai naudojami apvijų modeliai, atsižvelgiant į įtemptą sukeltą įtampą ir netiesinį dinaminį modelį.
Šiuo metu reikia tobulinti apvijų ir dangų tikslumą. Pvz., Perkėlus grafeną, sunku visiškai pašalinti pirolizinį lipnumą tarp pagrindo ir grafeno, o pernelyg mažo sukimo greičio arba kieto pagrindo sukeltas šlyties įtempis grafeno sluoksnyje sukels plyšius ar skyles. Kitas pavyzdys yra tai, kad organinių plėvelių paviršiaus defektai, pagaminti vakuuminiu apvalkalu, yra daug, o nešiklio judumas yra mažas, o tai rimtai veikia fotoelektrines prietaiso charakteristikas. Ateityje reikėtų pridėti matavimo ir valdymo blokus, pvz., Plėvelės įtempimą, ir plėvelės formavimo technologijas, tokias kaip CVD, jonų padengimas, aukštos įtampos elektrostatinis verpimas, vakuumo įpurškimas ir in-situ polimerizacija, kad būtų užtikrinta garantija. naujų organinių ir neorganinių sudėtinių funkcinių plėvelių ir įrenginių kūrimas.