Itin aukšto vakuumo sistema

Itin aukšto vakuumo sistema

Difuzinių siurblių serijos mechaninių siurblių serijos šalčio gaudyklių sistema
Paveikslėlyje 5-13 pavaizduota vakuuminė sistema, difuzijos siurblio dviejų serijų skysto azoto šalčio gaudyklė, o vakuuminė kamera ir šalčio gaudyklė 6 gali atlaikyti 400–450 laipsnių kepimą. Esant tokiai temperatūrai, galima pašalinti ant vakuuminės kameros sienelės ir šalčio gaudyklės sienelės adsorbuotas dujas bei kondensuotą siurblio alyvą. Sistema paprastai gali gauti ribinį 1,33 × 10-7 Pa vakuumą.

▲ Paveikslas 5-13 Alyvos difuzijos siurblio itin didelio vakuumo sistema: 1- Vakuuminė kamera 2- Termoporos vakuumo matuoklis 3-BA vakuumo matuoklis 4- Išleidimo vožtuvas {{7} } Itin didelio vakuumo vožtuvas 6,7- šalčio gaudyklė 8- jonizacijos vakuuminis matuoklis 9- Difuzijos siurblys 10- priekinio vamzdžio vožtuvas 11- priekinis gaudyklė 12- Solenoidinis vožtuvas 13- Mechaninis siurblys 14- itin didelio vakuumo vamzdžio vožtuvas 15- kepimo įrenginys

IKS PVD įmonė, dekoratyvinio dengimo mašina, įrankių dengimo mašina, DLC dengimo mašina, optinio dengimo mašina, PVD vakuuminio dengimo linija, yra „iki rakto“ projektas. Susisiekite su mumis dabar, el. paštas: iks.pvd@foxmail.com