DLC plėvelės kietumas

Magnetinio filtro katodo lanko metodu (FVCA) paruoštos DLC plėvelės kietumas yra panašus į deimantinės plėvelės kietumą. Vakuuminio katodo lanko metodu (VCAD) paruoštos DLC plėvelės kietumas yra didesnis nei HV5000. Magnetroninio purškimo būdu paruoštos DLC plėvelės kietumas paprastai yra mažesnis nei HV2000. Be to, nusodinimo procesas ir dopingas taip pat turi įtakos DLC plėvelės kietumui. Tinkamas poslinkis, slėgis ir atmosfera gali įvairiais laipsniais pagerinti DLC plėvelės kietumą. Dauguma eksperimentų rodo, kad dopingas gali įvairiais laipsniais sumažinti DLC plėvelės kietumą, tačiau kai kurie žmonės mano, kad naudojant Si gali pagerinti DLC plėvelės kietumą. DLC plėvelė paprastai turi didelį vidinį įtempį. Vidinis įtempis yra susijęs ne tik su DLC plėvelės struktūra ir komponentais, bet ir turi puikų ryšį su plėvelės formavimo procesu. Pavyzdžiui, H-DLC filme vidinis įtempis turi puikų ryšį su H turiniu. Išlaikant aukštą DLC plėvelės kietumą, N, Si ir kai kurie metaliniai elementai gali sumažinti vidinį įtempį. Vidinis įtempis daro didelę įtaką DLC plėvelės ir pagrindo sukibimo savybėms. Kai DLC plėvelė nusodinama tiesiai ant pagrindo, plėvelės surišimo jėga paprastai yra prasta. Kuo plonesnė DLC plėvelė, tuo geresnė surišimo jėga tarp plėvelės ir pagrindo. Be to, DLC plėvelės sukibimą galima pagerinti pridedant pereinamąjį sluoksnį tarp DLC plėvelės ir pagrindo. Jei Cr naudojamas kaip pereinamasis sluoksnis, membranos ir pagrindo sukibimas žymiai pagerėja. Skirtingos rūsio pereinamųjų sluoksnių poros skiriasi.

IKS PVD įmonė, dekoratyvinio dengimo mašina, įrankių dengimo mašina, DLC dengimo mašina, optinio dengimo mašina, PVD vakuuminio dengimo linija, yra „iki rakto“ projektas. Susisiekite su mumis dabar, el. paštas: iks.pvd@foxmail.com