Kondensacinis siurblys siurbiamas taip, kad kondensuotų dujas ant žemos temperatūros paviršiaus

1) Kondensacinis siurblys siurbiamas dujoms kondensuoti žemos temperatūros paviršiuje. Kai vakuumo kameroje yra šaltas paviršius, joje susidarys kondensatas, kuris gali atlikti oro ištraukimo vaidmenį. Tai yra kriogeninio kondensacijos siurblio ir kriogeninio šalčio gaudyklės veikimo principas. Sočiųjų garų slėgis yra glaudžiai susijęs su temperatūra, o temperatūrai žemėjant, sočiųjų garų slėgis mažėja.

1 lentelėje parodyta standartinė atmosferos sudėtis. 1 paveiksle parodyta įvairių dujų sočiųjų garų slėgio temperatūros kreivė. Kaip matyti iš 1 paveikslo, kai temperatūra nukrenta iki 20 K, išskyrus neoną, vandenilį, helį ir kitas sunkiai kondensuojamas dujas, visų kitų komponentų sočiųjų garų slėgis ore yra mažesnis nei 10–10 torrų. Taigi, kai oro nepraleidžianti talpykla, užpildyta oru, atšaldoma iki 20 K, vakuumas gali pasiekti 1,2E-3 torro. Esant 4,2 k, liko tik helis, o vakuumas iki 5e-5torr. Šaltas kondensacinio siurblio paviršius paprastai gali būti pasirenkamas maždaug 14-20 k., O praplovimo lengvais kondensacinėmis dujomis arba siurbimo su kitais siurbliais metodas yra naudojamas siekiant labai sumažinti vandenilio, helio ir kitų sunkiai sutraukiančių dujų kiekį siurblinėje. sistema. Nedidelis kiekis sunkiai kondensuotų dujų, kurios darbo metu patenka į sistemą, gali būti pašalintos ir kitais siurbliais.

[1 lentelė] standartinė atmosferos sudėtis

[Fig. 1] įvairių dujų sočiųjų garų slėgio temperatūros santykis

IKS PVD, esame vakuuminio dengimo mašinos gamintojai iš Kinijos, daugiau informacijos, susisiekite: iks.pvd@foxmail.com