Elektronų pluošto garinimo dangos mašinos sudėtis

Elektronų pluošto garinimo dangos mašinos sudėtis

Elektronų pluošto garinimo dengimo mašina daugiausia susideda iš valdymo sistemos, tikrosios oro kelio sistemos ir elektronų pistoleto sistemos. 1. Yra du siurbliai vakuuminio oro kelias tikrojo oro kelias elektronų pluošto garinimo dangos mašina, būtent priekinio etapo mechaninis siurblys ir aukštos vakuuminis kriogeninis siurblys, tarp kurių kriogeninis siurblys funkcija yra daugiausia per labai žemos temperatūros, atsižvelgiant į originalią adsorbcija šalto skėčio pasiekti vakuumo tikslą. Atsižvelgiant į aukšto vakuuminio siurblio paleidimo esant žemai temperatūrai procesą, mechaninio siurblio lygis bus prieš vakuumo būseną vamzdyno, kai vakuuminis vamzdynas pasiekia tam tikru mastu, laimingas vožtuvas bus atidarytas, šis lygis prieš mechaninis siurblys ir toliau dirbti, kad vamzdis ir žemos temperatūros siurblys turi vakuuminę būklę, tada buvo buvęs etapas vožtuvas kartojasi pirmiau nurodytus veiksmus. 2. Elektronų pluošto kaitinimo ir garavimo šaltinis elektronų pluošto garavimo šaltinį daugiausia sudaro elektronų pistoletas ir tiglis. Jei reikia, gali būti pritvirtintas mechaninės įrangos rinkinys, kuris gali suteikti žaliavų dengimo mašinai. Daugeliu atvejų valdymo įtaisas, kuris gamina ir valdo elektronų spindulį ir tiglio konstrukciją, bus integruotas į dengimo mašiną. Toliau pateikiamos kelios elektronų pluošto šildymo ir garavimo šaltinių struktūros. Garintuvas šildomas linijiniu katodo ir elektrostatiniu fokusavimu. (2) garintuvas, šildomas žiediniu katodo ir elektrostatiniu fokusavimu. Garintuvas šildomas ašiniu pistoletu ir elektrostatiniu nuotoliniu fokusavimu. Garintuvas šildomas ašiniu pistoletu, magnetiniu fokusavimu ir magnetiniu deformacija 90 laipsnių. E - tipo pistoletas garintuvas, E - tipo elektronų pluošto garavimo šaltinis, kurį išleidžia elektronų trajektorija, yra panašus į "E" žodį, todėl jis vadinamas E pistoletu. Šiuo metu ši garavimo šaltinio forma yra plačiausiai naudojama vakuuminio garavimo ir dengimo procese.

IKS-OPT2700 optinio E-pistoleto vakuuminio dengimo mašina,daugiau informacijos,kontaktai:iks.pvd@foxmail.com