Kelių lanko joninio nusodinimo

Kelių lanko joninio nusodinimoyra tiesioginio išgarinimo metalų kietosios katodo tikslą naudojant lanko išlydžio. Į evaporant yra jonų katodo medžiagos, išleistas nuo katodo lanko švyti, kad ji galėtų būti indėlių plona plėvele ant substrato paviršiaus.

Plėtros

Vakuumo joninio nusodinimo pasiūlė D. M. Mattox 1963 ir pradėjau eksperimentą. 1971 m. kolegija et al. paskelbtos Elektronų spindulys jonų dengimo technologija. 1972 m. B pranešė reakcija garavimo apkalos (yra) technologija, ir padarė SKARDA ir TIC superhard filmų. Tais pačiais metais, MOLEY ir SMITH taikomi tuščiaviduriu katodu technologijos danga. XX a. 80s, multi lanko joninio nusodinimo ir lanko išlydžio didelio vakuumo joninio nusodinimo atsirado Kinijoje ir joninio nusodinimo pasiekė lygį, pramoninį pritaikomumą.

Principas

Joninio nusodinimo atliekamas vakuuminėje kameroje dujomis arba dalinis jonizacijos evaporant, garavimo ar reaguojančia medžiaga iškritų ant pagrindo, o bombarduoti poveikį dujų jonai arba evaporant dalelių, garavimo ar reaguojančia medžiaga nusėdimo ant to substratas. Joninio nusodinimo dera švytėjimas išlydžio, plazminės technologijos ir garinimas vakuume, kuris gali ne tik akivaizdžiai pagerinti plėvele, bet taip pat išplėsti taikymo sritį filmas. Filmas privalumai yra stiprus sukibimo, geras Difrakcija ir platus membranos medžiaga. D.M. pasiūlytas principas joninio nusodinimo, kuris darbo procesas yra:

● vakuuminėje kameroje yra pumpuojamas į vakuumo lygis viršija 4 x 10-(3) Pa, ir tada prijungti prie aukštos įtampos elektros energijos tiekimo ir sukurti žemos temperatūros plazmos regiono žemo slėgio dujų išlydžio garinimo šaltinis ir substrato.

● Substratas elektrodą prie 5KV DC neigiamas aukštos įtampos suformuoti švytėjimas išlydžio katodo.

● Jonai inertinių dujų švytėjimas išlydžio zonoje yra pagreitina elektrinis laukas katodo tamsi srityje ir substrato paviršius yra atakuojamas ir valomi.

● Dengimo proceso, šildymas tampa išgarintos medžiagos, atomai pradeda veikti plazmos srityje, kuri susiduria su inertinių dujų jonai ir elektronai ir gaminamas kelių dalis jonizacija.

● Jonizuotas jonai ir dujų jonai užmiega su aukštesnės energijos, kuri pagerino kino kokybės paviršiaus danga.

Kelių lanko joninio nusodinimo skiriasi nuo bendrųjų joninio nusodinimo, kuris naudoja lanko išlydžio vietoj tradicinių jonų apkalos švyti vykdyti iškritų. Trumpai tariant, kelių lanko joninio nusodinimo principu yra naudoti katodo tikslinės garavimo šaltinis išgaruoti į tikslą medžiagos iš lanko išlydžio tarp taikinio ir anodo apvalkalo, kad plazmoje susidaro erdvėje ir nusėdimo ant substratai.

Pranašumas

● Plazmoje yra sukurtas tiesiogiai iš katodo be išlydyto baseinas. Katodo tikslą gali būti sudėti bet kuria kryptimi pagal formos ruošinį, todėl stovas yra labai supaprastinta.

● Krintančios dalelės energijos ir plėvelės tankis yra didelis, stiprumą ir ilgaamžiškumą yra geras ir puikus sukibimo jėgą.

● Aukštas lygis dėl jonizacijos, paprastai sudarys iki 60 % iki 80 %.

● Taikymo požiūriu, nusodinimo spartą yra greitas.

Trūkumas

● Didelės galios, būtina gaminti virimo temperatūra, kuri priklauso dangos kokybė.