Įvadas įvarčių

Nukrypimo įtampa reiškia netiesioginę įtampą, kuri yra padengta substratu dengimo proceso metu. Teigiamas poslinkio maitinimo šaltinis yra prijungtas prie vakuuminės kameros, o vakuuminė kamera yra įžeminta. Neigiamas įžeminimo įtampos gnybtas yra prijungtas prie ruošinio. Kadangi žemės įtampa apskritai laikoma nulinio potencialo, uždegimo ant dirvožemio įtampa, kuri yra neigiama įtaka, vadinama šališkumu.

1. Neigiamo šališkumo funkcija

◆ Pateikite dalelių energiją;

◆ šildymo poveikis pagrindui;

◆ Substrato adsorbuotųjų dujų ir riebalų nešvarumų pašalinimas yra naudingas siekiant pagerinti plėvelės klijavimo stiprumą;

◆ aktyvuoti pagrindo paviršių;

◆ Dideliam lankelių jonų dengimo dalelėmis yra gryninimo efektas.

2. Kintamosios įtampos klasifikavimas

(1) Pagal bangos formą galima suskirstyti į:

DC įtampa   DC impulsinis šališkumas

DC sumontuotas impulsų šališkumas Bipolinis impulsinis šališkumas

(2) Atsižvelgiant į poreikį perjungti aukštos įtampos ir žemos įtampos, kai maitinimas naudojamas, jį galima suskirstyti į:

Aukštos įtampos ir žemos įtampos perjungimo galios diagrama

Nereikia keisti aukštos ir žemos įtampos nuolatinių reguliavimo išėjimo

Reguliuojami šališkumo maitinimo šaltiniai: šališkumo amplitudė, darbo santykis, dažnis ir bangos forma.

3. Neigiamo energijos tiekimo charakteristika

◆ gniuždomojo lanko skaičius per minutę.

◆ Didžiųjų lankų jautrumo nustatymas (mJ / kW aptikimo lanko energija).

4. Paklaidos apkrovos charakteristika

Darbinio apkrovimo šališkumas yra plazma, o plazma pasižymi varžiniu, kai naudojamas nuolatinės srovės šališkumas. Kitu atveju, kai taikomas impulsinis šališkumas, plazma pasižymi rezistiniu + talpiniu, kuris gali būti laikomas serijiniu rezistorių ir kondensatorių jungimu. Talpa susideda iš plazmos apvalkalo ant pagrindo.