Eksperimentinės medžiagos ir metodai, skirti įtakos arkos šaltinio srautui ant alavo kino struktūros
Jun 22, 2018| Šiame darbe TiN plonieji plėveliai buvo padengti ant nerūdijančio plieno substrato ir Si plokštelių daugiasluoksnėmis jonų dengimo mašinomis. Arniko šaltinio srovės poveikis TiN plonų plėvelių struktūrai ir tribologinėms savybėms buvo ištirtas pagal daugiasluoksnės jonų dangos principą.
Eksperimentinės medžiagos ir metodai
Pagrindo medžiaga yra nerūdijantis plienas (1Cr18Ni9Ti), kurio storis 20 mm × 20 mm × 2 mm, su SI plokštelėmis. Filmo paruošimas buvo atliekamas ant daugiasluoksnės jonų dengimo mašinos. Mėginys buvo mechaniškai poliruotas, plaunamas šarmais, ultragarsiniu būdu išvalytas alkoholiu ir galiausiai visiškai išdžiovintas į švarią dengimo kamerą. Prieš dengimo procesą substratas nuvalytas Ar + tepinimu 5 min. Dujinės argono dujos dengimo metu buvo lygios nuliui, o fiksuotas N2 srautas buvo 0,22 SLM / s. Konkretūs proceso parametrai išvardyti 1 lentelėje.
1 lentelė. TiN plėvelės nusodinimo proceso parametrai
| Arkos šaltinio srovė (A) | Slėgis (x10 -1 Pa) | Sudrestės temperatūra (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4.5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1.0 | 402 |
Filmo paviršiaus morfologija ir lūžių paviršiaus morfologija buvo stebima lauko sklidimo elektronine mikroskopija (FE-SEM). TiN plėvelės kietumas buvo matuojamas su mikrodrumo testeriu, kurio apkrova yra 25 g, o pakrovimo laikas - 10 s. Filmo trinties koeficientas buvo matuojamas savarankiškai pakeistu laboratoriniu prietaisu. TiN plėvelės mėginys yra sujungtas su A3 plienu, kad sudarytų pora trinties porų. Bandymo metu užfiksuotas viršutinis bandinys, A3 plieninis diskas sukasi sausoje trintyje, sukimosi greitis yra 0,87 rev / min, o eksperimentinė apkrova - 1N.