Pagrindinio elektronų pluošto apdorojimo įtaisas

Pagrindinio elektronų pluošto apdorojimo įtaisas

Elektronų pluošto apdorojimo įrenginį daugiausia sudaro šios dalys:

E lectrono pistoletas

Prietaisas elektronų spinduliui gauti, kurį sudaro:
1. Elektronų emisijos katodas - pagamintas iš volframo arba tantalo ir kaitinančiomis sąlygomis skleidžiantis elektronus.
2, valdykite vartus - ne tik kontroliuoja elektronų pluošto stiprumą, bet ir turi pagrindinį fokusavimo efektą.
3. Pagreitintas anodas - paprastai įžemintas, ir todėl, kad katodas turi aukštą neigiamą slėgį, jis gali varyti elektronus, kad įsibėgėtų.

Vakuuminė sistema

Užtikrinkite vakuumą, reikalingą elektroniniam apdorojimui. Bendrojo elektronų pluošto apdorojimo vakuume laipsnis palaikomas 1,33 × 10-2 ~ 1,33 × 10-4 Pa.

Valdymo sistema ir maitinimas

Valdymo sistemą sudaro šviesos fokusavimo valdymas, spindulio padėties valdymas, šviesos stiprio valdymas ir stalo poslinkio valdymas.
Sijos fokusavimo valdymas: padidėja elektronų pluošto energijos tankis, kuris nustato apdorojimo taško apertūrą ar siūlės plotį.
Fokusavimo metodas: pirmiausia aukšto įtampos elektrostatinis laukas naudojamas elektronų srautui sufokusuoti į smulkųjį pluoštą; Kitas būdas yra naudoti „elektromagnetinį lęšį“, kad sutelktų dėmesį į magnetinį lauką.

Sijos padėties valdymas: keičia elektronų kryptį.
Stalo poslinkio valdymas: valdykite stalo padėtį apdirbimo metu.
Maitinimas: aukštos įtampos stabilumo reikalavimai, paprastai naudojami stabilizuoti energijos tiekimą.

IKS PVD elektroninio pluošto optinio dengimo aparatas ， IKS-OPT2700, daugiau informacijos, susisiekite su iks.pvd@foxmail.com