Vakuuminės kameros, skirtos vakuuminio dengimo įrangai, projektavimas
Jan 21, 2019| Vakuuminės kameros, skirtos vakuuminio dengimo įrangai, projektavimas
IKS PVD, aukštos kokybės vakuuminės dangos įranga, iks.pvd@foxmai.com
Vakuuminės dangos technologija yra naudoti fizikinius arba cheminius metodus vakuumo sąlygomis, kad objekto paviršius gautų reikiamą plėvelės korpusą, vakuuminio dengimo technologiją pagal skirtingus metodus, suskirstytus į garavimo dengimą, purškimą, jonų dengimą, pluošto nusodinimą ir molekulinį spindulių epitaksas ir tt Ši dengimo įrangos analizė yra magnetrono purškimo danga.
Vakuuminė kamera yra pagrindinė vakuuminės įrangos dalis, vakuuminės dangos įrangos vakuuminės kameros konstrukcija yra laikoma sandarinimo ir patikimumo, konstrukcija turi būti pagrįsta, vakuuminėje įrangoje gaminama vakuuminė kamera, medžiaga turi nedidelį poveikį dulkių laipsnis, dizainas negali būti neatsargus, atkreipti dėmesį į kai kurias problemas.
Naudojant vakuuminio magnetrono purškimo dengimo įrangą paprastai naudojama cilindro korpuso struktūra, todėl greitą laiką užtikrinanti konstrukcija dėl oro kišenės lėtai nuvalys, taip išvengiant izoliacijos ertmės, viršutinė vakuuminė sistema prideda magnetrono purškimo pistoletą. vakuuminė kamera ir komponentai turi pakankamai stiprumo, užtikrina, kad išorinių ir vidinių veiksmų metu nebūtų formų pasikeitimo, storis turi būti pakankamas.
Suvirinimas yra pagrindinis procesas vakuuminės kameros gamyboje, siekiant užtikrinti, kad po suvirinimo vakuuminė kamera nesukeltų nuotėkio reiškinio, būtina sukurti tinkamą suvirinimo struktūrą, gerinti suvirinimo kokybę, ypač aukštoje vakuume. vidinis sienų šiurkštumas, skirtas poliruoti lauko patalpų paviršių, yra labai šviesus ir švarus, būtina atkreipti ypatingą dėmesį į būtinybę atlikti gerą darbą, kad būtų išvengta rūdžių priemonių.