DC šališkumo ir impulso šališkumo palyginimas

Tradicinėslanko joninio nusodinimodaroma nuoroda į DC Neigiamasis tepamas ant pagrindo kontrolės jonų bombardavimas energijos. Nusodinimo procesas turi šių trūkumų:

● Aukštos temperatūros kilimą substrato nėra palanki nusėdimąkietos plėvelėsdėl žemos temperatūros grūdinimo substrato.

● didelės energijos jonų bombardavimas padarė rimtą apipurškiant ir sunku plona plėvelė negali būti tiesiog padidinus jonų bombardavimas energijos sintezė didelės reakcijos slenksčio energijos.

DC šališkumo lanko jonų dengimo procesas, siekiant apriboti jonų nuolat bombarduoti substrato paviršiaus ir sukėlė substrato temperatūra yra per aukšta, pagrindinis yra sumažinti nusėdimo galia, sutrumpina nusodinimo, protarpinis naudojimas nusodinimo ir kitų priemonių sumažinti nusėdimo temperatūrą, šios priemonės yra vadinamos "Energijos valdymo būdas". Nors šis metodas gali sumažinti nusėdimo temperatūrą, ji taip pat sumažina kai kurių savybių plėvelė, tuo pačiu sumažinant gamybos efektyvumą ir stabilumą ir kino kokybės. Todėl sunku populiarinimas ir taikymas.

Impulso šališkumo lanko jonų chromavimo procesą, nes jonai bombarduoti substrato paviršius su eilės pulsas, koreguojant muito santykis impulso šališkumo, temperatūros gradientas tarp vidinių ir matricos paviršius gali būti keičiama, ir tada į pusiausvyros kompensavimo poveikį tarp vidinių ir substrato paviršiaus temperatūra gali būti keičiama, kad būtų pasiektas tikslas yra reglamentuoti nusodinimo temperatūra. Tokiu būdu, Pulsas aukštis taikomųjų šališkumo ir ruošinio temperatūra atskirai (įtaka ar mažai įtakos) reguliuojamas. Aukštos įtampos impulsai yra naudojama gauti bombardavimas poveikis didelės energijos jonų pagerinti, mikrostruktūros ir plonų plėvelių savybės mažinant muito santykį sumažinti šildymo poveikis jonų bombardavimas sumažinti nusėdimo temperatūrą.