Kombinuota itin aukšta vakuuminė sistema
Aug 30, 2021| Kombinuota itin aukšta vakuuminė sistema
Kai kurioms vakuuminėms sistemoms su specialiais reikalavimais, pvz., Toms, kurioms reikalingas itin didelis vakuumas arba itin didelis vakuumas be alyvos, ir tuo pačiu metu atitinka neapdoroto siurbimo poreikius ir gali susidoroti su dideliu proceso metu išsiskiriančių dujų kiekiu, kombinuota sistema gali būti naudojama reikalavimams įvykdyti. FIG. 1 rodo be alyvos itin aukštos vakuuminės dangos mašinos vakuuminės sistemos schemą. Pagrindinis siurblys yra sputtering jonų siurblys, kuris yra įrengtas titano sublimacijos siurblys, siekiant pagerinti vakuumo laipsnį ir išleisti didelį kiekį dujų, pagamintų išgarinimo medžiagų. Galutinis vakuumas gali siekti 6,67×10-7Pa. Išankstinis siurbimo siurblys su molekuliniu sieto siurbliu kaip pagrindiniu siurbliu. Be to, sistemoje taip pat yra adsorbcijos spąstai - mechaninio siurblio neapdoroto siurbimo sistema, kai slėgis yra didesnis nei 1333Pa, mechaninis siurblys nėra lengva grąžinti alyvą, mechaninis siurblys tiesiogiai dulkių vakuumo kamerą, kai vakuumo kameros slėgis yra mažesnis nei 1333Pa, mechaninis siurblys per adsorbcijos spąstus 9 iš aplinkkelio vakuumo kameros.
1. Vakuuminė kamera 2. Itin aukštas vakuuminis vartų vožtuvas 3. Sputtering jonų siurblys 4. Titano sublimacijos siurblys 5. Itin aukštas vakuuminis vožtuvas 6. Atleidimo vožtuvas 7. Aukštas vakuuminis vožtuvas 8. Molekulinis sieto siurblys 9. Adsorbcijos spąstai 10. Mechaninis siurblys
FIG. 1 Be alyvos itin aukštos vakuuminės dangos mašinos vakuuminės sistemos schema
IKS PVD įmonė, dekoratyvinės dangos staklės, įrankių dengimo staklės, optinės dangos mašina, PVD vakuuminė danga, galimas rakto projektas. Susisiekite su mumis dabar, El. paštas:iks.pvd@foxmail.com