Magnetrono sputrinimo tikslo klasifikacija

Magnetrono purškimo tikslas yra vakuuminės dangos mechaninės dalys, bet ir galios elektroniniai komponentai. Kalbant apie tikslinio energijos tiekimo perspektyvą, mes esame labiau susirūpinę dėl jo elektros našumo. Šiame straipsnyje klasifikuojamas magnetrono purškimo tikslas pagal skirtingus tipus.

1. Pagal mechaninę struktūrą

Kai klasifikuojama pagal mechaninę struktūrą ir tikslinę formą, o magnetrono purškimo tikslai daugiausia apima planarius (stačiakampius ar apskritus) magnetroninius taikinius, koaksialus cilindrinis magnetinis taikinys (padalytas į sukasi magnetus arba sukasi tiksliniai vamzdeliai ir "magnetai, judantys aukštyn ir žemyn" ...) ir žiedo formos kūgio magnetrono taikinys (S ginklas) ir kt.

2. Pagal Planar Target

Plokštieji tikslai yra padalinti į plokščią stačiakampį magnetroninį taikinį, plokščią apskritimo magnetroną ir arc-magnetrono dvejopo tikslo sudėtinę struktūrą.

3. Pagal magnetinį lauką

(1) Magnetrono tikslai gali būti klasifikuojami į nuolatinius magnetus ir elektromagnetus priklausomai nuo magnetinio lauko formavimo metodų.

(2) Atsižvelgiant į magnetrono taikinio išdėstymo ir paskirstymo padėties skirtumų vakuuminėje kameroje ir magnetinių polių ir magnetinių linijų paskirstymo būklės skirtumus, magnetroninio purškimo tikslą galima suskirstyti į subalansuotą magnetroninį dulkinimą ir nesubalansuotą magnetroninį purškimą (nesubalansuotas magnetroninis purškimas gali padėti plazmui išsilieti nuo tikslinio paviršiaus, siekiant pagerinti profiliuoto gaminio paviršiaus plėvelės sluoksnio kokybę ir didelio ploto jonų nusodinimo efektą). Daugiatikslis uždaras magnetinio lauko nesubalansuotas magnetroninis purškimo sistema gali gauti didelį nusėdimo greitį ir aukštesnės kokybės ploną plėvelę.

(3) magnetroninio purškimo tikslinio disbalanso magnetrono laukas gali būti gautas ne tik keičiant vidinių ir išorinių nuolatinių magnetų dydį ir stiprumą, bet ir pagamintus iš dviejų elektromagnetinių ritinių rinkinių arba naudojant mišrią elektromagnetinių ritinių struktūrą ir nuolatinę magnetai. Be to, norint pakeisti magnetinį lauką tarp katodo ir substrato, papildomas solenoites tarp katodo ir substrato gali padėti kontroliuoti teigiamų jonų ir atomų santykį deguonyje geriausiems poveikiams.