Didelio galingumo impulsinis magnetroninis maitinimas
Aukštosios galios impulsinės magnetroninės dulkių technologijos (HIPIMS) pranašumai. ◆ Tradicinė DC magnetronio impulsinė galia yra ribojama tikslinio šiluminio streso. ◆ Dauguma jonų susidūrimo energijos gali tiesiogiai konvertuoti į tikslinės šiluminės energijos. ◆ impulsinis magnetroninis energijos šaltinis ...
- produkto pristatymas
Aukštosios galios impulsinės magnetroninės dulkių technologijos privalumai ( HIPIMS )
◆ Tradicinė DC magnetronio impulsinė galia yra ribojama tikslinio terminio įtempio.
◆ Dauguma jonų susidūrimo energijos gali tiesiogiai konvertuoti į tikslinės šiluminės energijos.
◆ Impulsinis magnetroninis maitinimo šaltinis užtikrina didelę impulsų galią ir mažą darbo ciklą.
◆ Impulsinis magnetroninis maitinimo šaltinis gali tiesiogiai pakeisti nuolatinės magnetroninės dulkių energijos šaltinį.
Palyginimas iš didelio galingumo impulsinio magnetroninio dulkinimo išlydžio ir nuolatinio magnetroninio dulkinimo išlydžio
High Power impulsinio magnetrono savybės Sputtering discharge | Dc Magnetron Sputtering Discharge savybės |
Katilo išleidimo įtampa yra 500 ~ 2000 V, srovės tankis yra iki 3 ~ 4A / cm 2 . | Magnetinio lauko intensyvumas yra 0.01 ~ 0.05 T, o darbo įtampa yra 300 ~ 700 V pagal tipinį DC magnetroną purškiamas darbinis slėgis (1 ~ 10 mTorr). |
Elektronų tankis prie substrato paviršiaus: 10 18 ~ 10 19 m - 3 | Elektronų tankis prie substrato paviršiaus: 10 15 ~ 10 16 m-3 |
Galios tankis: 1 ~ 3kW / cm 2 | Mažas jonizacijos greitis (~ 1%) tikslinio purškimo metu. |
Dažnis: 100 ~ 1000Hz | Inertinių dujų jonai yra dauguma |
Darbo ciklai: 1% ~ 10% | Papildoma pagalbinė jonizacinė įranga (RF of mikrobangų krosnelė). |
Didelio galingumo magnetroninio impulsinio maitinimo šaltinio elementai
◆ Teigiamas ir neigiamas elektrodų išsiliejimas kontroliuojamas greitaeigiu jungikliu, kad jis nepatektų į lankinio išlydymo zoną dėl nenormalaus švytinčio išlydžio lauko tradicinio magnetroninio purškimo. Srovės tankis yra iki 1018-1019 / m3, kuris yra ypač aukštas nei tradicinis magnetroninis purškimas. Be to, esant itin aukštai jonizacijos laipsniui 80-99%, jis gali lengvai tiekti pažangių plėvelių su stipriu sukibimu.
◆ Didelio galingumo impulsinė magneto spinduliavimo galia suteikia puikias plėvelės savybes, atsižvelgiant į plėvelės konsistenciją, kietumą, atsparumą dilimui ir sukibimą.
◆ Su dideliu impulsine galia ir nedideliu darbo ciklu, didelio galingumo impulsinis magneto spinduliavimo maitinimas gali pakeisti nuolatinės magnetroninės dulkės energijos šaltinį tiesiogiai, nekeičiant pradinio magnetrono dulkių dengimo įrangos.
◆ PHP lankinio slopinimo technologija užtikrina, kad naudotojai galėtų patogiau valdyti filmo kokybę paviršiaus apdorojimo procese. Su įtampos stabilizavimu ir idealiu perversmu de foue, maitinimo šaltiniai gali veiksmingai užkirsti kelią ruošinio paviršiui ir žymiai pagerinti gaminio išeigą, paviršiaus plonumą ir dangų sukibimą su plėvele.
◆ Didelio galingumo impulsinis magnetroninis maitinimas priima pažangiosios aukšto dažnio keitiklio maitinimo šaltinio technologiją ir didelio galingumo IGBT maitinimo modulį.
◆ Jutiklinio ekrano mikrovaldiklio naudojimas yra labai integruotas ir galingas, todėl lengva valdyti. Srovės ir įtampos rodmenys yra labai aiškūs ir intuityvūs. Taip pat jis palaiko daugiakanalę didelės spartos skaičiavimą ir didelės spartos impulsų funkciją.
◆ Maitinimo šaltinis turi apsaugines funkcijas, susijusias su per didelio srovės, pernelyg aukštos įtampos ir per aukšta temperatūra.
◆ Maitinimo šaltinis gali bendrauti su pagrindiniu kompiuteriu per skaitmeninius prievadus, tokius kaip RS232, RS485, WIFI ir tt, kuris plečia savo valdymo funkciją.
Produkto Aprašymas
Produkto modelis | EP50A80H |
Įvesties galia ir dažnis (V / Hz) Trifaziai ir keturi laidai | AC380 + N |
60 Hz | |
Išėjimo srovės diapazonas (A) | 0 ~ 500 |
Pastovaus voltago ir nuolatinio srovės tikslumas | ≤1% |
Įvertintas išėjimo įtampa (DCV) | 800 |
Maksimali vidutinė galia (KW) | 40 |
Didžiausia galia (KW) | 400 |
Darbo ciklai (%) | <> |
Svoris (kg) | 60 |
Išoriniai matmenys (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
Izoliacijos laipsnis | B |
Našumas (%) | 90 |
Apsaugos klasė | Ip21 |
Darbinis režimas | Nuolatinis įtampa, pastovus srovė ir pastovios energijos režimai yra pasirinktiniai. |
Aušinimo režimas | Vandens aušinimas |
Išorinė sąsaja | Visi šios serijos gaminiai pritaikyti jutiklinio ekrano mikrovaldikliui |
Palyginimas tarp didelio galingumo impulsinio magnetroninio spinduliavimo galios šaltinio EP50A80H ir kitų produktų
Didelio galingumo impulsinė magnetroninė spinduliavimas | |||
Prekės ženklas | Huttingeris | Hauzeris | IKS |
Modelis | Truplasma Highpulse 4000 | HIPIMS + | EP50A80H |
Maksimali vidutinė galia | 20kw | 20kw | 40KW |
"Peak Power" | 1MW ~ 8MW | 360kw | 400 kW |
Įtampa | 1KV, 2KV | 800 | 800 |
Dabartinis | 1KA, 2KA, 4KA | 600 | 500 |
Arkos aptikimas | <> | <800> | <> |
Pakuotė (B * H * T) | 483x635x676 | null | 480x268x700 |
Didelio galingumo magnetroninės spinduliuotės galios EP50A80H pranašumai
◆ Didelis patikimumas
EP50A80H suteikia puikias plėvelės savybes, atsižvelgiant į plėvelės konsistenciją, kietumą, atsparumą dilimui ir sukibimą.
◆ Puiki lankinio slopinimo technologija
EP50A80H priima "PHP" lankinio slopinimo technologiją, taigi vartotojai gali patogiai kontroliuoti filmo kokybę paviršiaus apdorojimo procese, kad gautų geresnę plėvelę.
◆ Geras suderinamumas
EP50A80H gali tiesiogiai pakeisti esamą magnetroninį purškimo maitinimą. Užuot keičiantis katodo medžiagomis ir magnetiniais laukais, vartotojams reikia keisti aušinimo sistemą.
◆ didelio galingumo ir tūrio santykis
Didelio galingumo tūrio santykis vartotojams palengvina įrangos diegimą.
Paraiška
Didelio galingumo MF magnetroninis dulkių šaltinis yra plačiai naudojamas plazmos, fizikinės, cheminės, medicinos ir įvairių mokslinių tyrimų srityse, jis gali patenkinti įvairius proceso reikalavimus, ypač vakuuminio dengimo įrangoje.
Pakavimas: 1. Medinis dėžutė
2. Dėžutė
3. Kaip jūsų prašymas
Apmokėjimas: T / T, L / C ir kt.
Pristatymo laikas: Paprastai praėjus 15 ~ 20 dienų po apmokėjimo
Pristatymas: Oru ar jūra
Populiarus Žymos: didelio galingumo impulsiniai magnetroniniai maitinimo šaltiniai, Kinija, gamintojai, tiekėjai, pirkimai, individualūs, pagaminti iš Kinijos
