Didelio vakuumo, itin didelio vakuumo ir ypač didelio vakuumo nuotėkio aptikimas

Didelio vakuumo, itin didelio vakuumo ir itin didelio vakuumo nuotėkio aptikimas

Joks vakuuminis įrenginys ar sistema negali pasiekti absoliutaus vakuuminio sandarinimo ir to daryti nereikia. Neginčijamas faktas, kad nuotėkio greitis turi būti pakankamai mažas, kad nebūtų pernelyg paveiktas reikiamas darbinis slėgis, dujų balansas ir ribinis slėgis vakuuminiame inde. Esant dideliems, ypač aukštiems ir ypač aukštiems vakuumams, vienintelis patikimas būdas aptikti nuotėkio greitį, mažesnį nei 10-7mbar·L/s, yra helio masės spektrometro nuotėkio detektorius. Lygiavertis nuotėkio angos skersmuo yra 10-12mbar·L/s, kuris taip pat yra helio molekulės skersmuo ir yra mažiausias nutekėjimo greitis, kurį galima aptikti. Šis ryšys su heliu yra viena iš priežasčių, kodėl helis naudojamas kaip atsekamosios dujos, o masės spektrometrai naudojami analizei / matavimui, ir yra viena iš priežasčių, kodėl šis metodas yra tiksliausias ir greičiausias nuotėkio aptikimo metodas.

IKS PVD įmonė, dekoratyvinio dengimo mašina, įrankių dengimo mašina, DLC dengimo mašina, optinio dengimo mašina, PVD vakuuminio dengimo linija, yra „iki rakto“ projektas. Susisiekite su mumis dabar, el. paštas: iks.pvd@foxmail.com